飞秒激光对硅表面微构造的研究进展

被引：8

作者：

高胜淼

韩培高

闫珂柱

机构：

[1] 曲阜师范大学激光研究所山东省激光偏光与信息技术重点实验室

来源：

激光与光电子学进展 | 2013年 / 11期

关键词：

光学制造; 飞秒激光; 硅; 脉冲; 发光特性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

综述了飞秒激光对硅表面微构造的研究进展。阐述了超短脉冲诱导硅材料表面深亚波长结构的形成机理,讨论了飞秒激光作用硅表面制备微纳结构的影响因素和该微纳结构的发光特性,介绍了飞秒激光诱导硅材料表面微纳复合结构的生物仿生特性。揭示了飞秒激光在微结构制备方面的广泛应用前景。

引用

页码：16 / 22

页数：7

共 16 条

[1] 不同能量密度的飞秒激光辐照对单晶硅的影响研究 [J].

马鹏飞 ;

王克栋 ;

常方高 ;

宋桂林 ;

杨海刚 ;

王天兴 .

人工晶体学报, 2013, 42 (02) :273-277

[2] 飞秒激光对两种不同的单晶硅的辐照损伤研究 [J].

马鹏飞 ;

刘中山 ;

常方高 ;

宋桂林 ;

王克栋 .

人工晶体学报, 2013, 42 (01) :99-104

[3] 飞秒与纳秒激光刻蚀单晶硅对比研究 [J].

杨焕 ;

黄珊 ;

段军 ;

杜敏 .

中国激光, 2013, 40 (01) :95-100

[4] 飞秒激光扫描不同温度下的硅片诱导形成微结构的差别 [J].

柳岿 ;

冯国英 ;

邓国亮 ;

李玮 .

中国激光, 2012, 39 (08) :62-66

[5] 飞秒激光脉冲能量对SF6气体环境下硅表面尖峰结构形成的影响 [J].

温雅 ;

彭滟 ;

张冬生 ;

陈宏彦 ;

陈麟 ;

朱亦鸣 .

中国激光, 2012, 39 (04) :129-133

[6] 超快激光微构造硅的研究与应用 [J].

陈长水 ;

何慧丽 ;

李江华 ;

刘颂豪 .

激光与光电子学进展, 2012, (03) :23-27

[7] 飞秒激光功率与脉冲数的比例关系对制备硅表面微结构的影响 [J].

彭滟 ;

温雅 ;

张冬生 ;

陈宏彦 ;

罗士达 ;

陈麟 ;

徐公杰 ;

朱亦鸣 .

中国激光, 2011, 38 (12) :83-87

[8] 飞秒激光烧蚀硅表面产生微纳结构过程中激光脉冲数目的影响 [J].

阮召崧 ;

彭滟 ;

朱亦鸣 ;

何波涌 .

光学技术, 2011, 37 (02) :245-248

[9] 不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构 [J].

袁春华 ;

李晓红 ;

唐多昌 ;

杨宏道 ;

李国强 .

强激光与粒子束, 2010, 22 (11) :2749-2753

[10] 单光束飞秒激光诱导微纳周期结构的现象与机理 [J].

王丽 ;

丁婷 ;

邱建荣 .

物理, 2007, (01) :63-67

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