TiAlN膜层的研究进展

被引：16

作者：

陈淑花

潘应君

陈大凯

机构：

[1] 武汉科技大学

来源：

工具技术 | 2004年 / 10期

关键词：

TiAlN膜; 复合膜; 纳米多层膜;

D O I：

10.16567/j.cnki.1000-7008.2004.10.002

中图分类号：

TG174 [腐蚀的控制与防护];

学科分类号：

摘要：

介绍了TiAlN基多层膜的发展及其它元素对薄膜性能的影响。其中薄膜多层化及添加其它元素都是获得具有优良的结合强度、硬度、耐磨性和高温抗氧化性能薄膜的重要手段 ,是今后TiAlN膜的重要发展方向

引用

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页数：5

共 10 条

[1] Al对Ti1-xAlxN涂层高温氧化动力学的影响 [J].

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[2] 空心阴极离子镀TiAlN复合薄膜结构及抗氧化性能的研究 [J].

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[3] Ti-Al-N薄膜的性能及应用 [J].

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[4] TiAlN/Ti多元复合涂层的截面透射电镜研究 [J].

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[6] 铝含量对(Ti,Al)N镀层结构及耐磨性的影响 [J].

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[7] 多元超硬膜TiAlN的制备及其组织性能研究 [J].

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[10]

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