LOW-RESISTIVITY N-TYPE LAYERS IN INASXP1-X BY ION-IMPLANTATION

被引:5
作者
DAVIES, DE [1 ]
KENNEDY, JK [1 ]
LOWE, LF [1 ]
机构
[1] USAF,SYST COMMAND,CAMBRIDGE RES LABS,BEDFORD,MA 01731
关键词
D O I
10.1049/el:19750355
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:462 / 463
页数:2
相关论文
共 10 条