SODIUM PASSIVATION IN HCL OXIDE-FILMS ON SI

被引:38
作者
ROHATGI, A
BUTLER, SR
FEIGL, FJ
KRANER, HW
JONES, KW
机构
[1] LEHIGH UNIV,SHERMAN FAIRCHILD LAB,BETHLEHEM,PA 18015
[2] BROOKHAVEN NATL LAB,UPTON,NY 11973
关键词
D O I
10.1063/1.89305
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:104 / 106
页数:3
相关论文
共 11 条