GRAPHITE-STRIP-HEATER ZONE-MELTING RECRYSTALLIZATION OF SI FILMS

被引:43
作者
FAN, JCC
TSAUR, BY
GEIS, MW
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(83)90162-8
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
引用
收藏
页码:453 / 483
页数:31
相关论文
共 47 条