THERMODYNAMIC ANALYSIS OF METALORGANIC VAPOR-PHASE EPITAXY OF III-V ALLOY SEMICONDUCTORS

被引:92
作者
SEKI, H
KOUKITU, A
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(86)90261-7
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页码:172 / 180
页数:9
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