A STUDY OF NUCLEATION IN CHEMICALLY GROWN EPITAXIAL SILICON FILMS USING MOLECULAR BEAM TECHNIQUES .I. EXPERIMENTAL METHODS

被引:44
作者
JOYCE, BA
BRADLEY, RR
机构
关键词
D O I
10.1080/14786436608219012
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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