CVD-SIO2 AND PLASMA-SINX FILMS AS ZN DIFFUSION MASKS FOR GAAS

被引:14
作者
BLAAUW, C
SPRINGTHORPE, AJ
DZIOBA, S
EMMERSTORFER, B
机构
关键词
D O I
10.1007/BF02656678
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:251 / 262
页数:12
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