DANGLING BONDS IN MEMORY-QUALITY SILICON-NITRIDE FILMS

被引:130
作者
FUJITA, S
SASAKI, A
机构
[1] Kyoto Univ, Dep of Electrical, Engineering, Kyoto, Jpn, Kyoto Univ, Dep of Electrical Engineering, Kyoto, Jpn
关键词
D O I
10.1149/1.2113850
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
37
引用
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页码:398 / 402
页数:5
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