EFFECT OF HYDROGEN DILUTION OF SILANE IN HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON FILMS PREPARED BY PHOTOCHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:9
作者
KAMIMURA, T
HIROSE, M
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1986年 / 25卷 / 12期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.25.1778
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1778 / 1782
页数:5
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