SOLID-PHASE EPITAXIAL REGROWTH OF AMORPHOUS-SILICON ON MOLECULAR-BEAM EPITAXIAL SILICON SI LAYERS

被引:5
作者
CHRISTOU, A
WILKINS, BR
DAVEY, JE
机构
关键词
D O I
10.1063/1.93827
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:1021 / 1023
页数:3
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