ACTIVATION EFFICIENCY IMPROVEMENT IN SI-IMPLANTED GAAS BY P COIMPLANTATION

被引:37
作者
HYUGA, F
YAMAZAKI, H
WATANABE, K
OSAKA, J
机构
关键词
D O I
10.1063/1.97790
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1592 / 1594
页数:3
相关论文
共 12 条