ALUMINUM-OXIDE FILMS MADE FROM EVAPORATED SAPPHIRE

被引:8
作者
GOSNEY, WM
MULLER, RS
机构
[1] UNIV CALIF, DEPT ELECT ENGN & COMP SCI, BERKELEY, CA 94720 USA
[2] UNIV CALIF, ELECTR RES LAB, BERKELEY, CA 94720 USA
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(72)90427-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:255 / 266
页数:12
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