DC-ETCHING OF POLYSILICON WITH FLUORINE CHEMISTRY

被引:2
作者
BLOM, HO [1 ]
NENDER, C [1 ]
BERG, S [1 ]
NORSTROM, H [1 ]
机构
[1] ERICSSON COMPONENTS AB,S-16381 KISTA STOCKHOLM,SWEDEN
关键词
D O I
10.1016/0042-207X(88)90469-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页数:4
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