MATERIALS OPTIONS FOR FIELD-EFFECT TRANSISTORS

被引:15
作者
WIEDER, HH
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.570957
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:11
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