半导体装置制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201980070426.5
申请日
2019-10-18
公开(公告)号
CN112913016A
公开(公告)日
2021-06-04
发明(设计)人
辻直子
申请人
申请人地址
日本大阪府
IPC主分类号
H01L25065
IPC分类号
C09J17102 C09J18304 C09J20100 H01L21304 H01L213065 H01L213205 H01L21768 H01L23522 H01L2507 H01L2518
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
杨薇
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[41]
半导体装置制造方法 [P]. 
辻直子 .
中国专利 :CN112912993A ,2021-06-04
[42]
半导体装置制造方法 [P]. 
辻直子 .
中国专利 :CN112913015A ,2021-06-04
[43]
半导体装置、半导体装置的制造方法以及带有粘接剂层的半导体晶片 [P]. 
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[48]
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[50]
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