一种高K和金属栅极的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110386897.2

申请日：

2011-11-29

公开(公告)号：

CN102427032A

公开(公告)日：

2012-04-25

发明(设计)人：

周军

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L29423

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

王敏杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-25	公开	公开
2012-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101287120037 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2011103868972 申请日:20111129
2015-11-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101723068202 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2011103868972 申请公布日:20120425

共 50 条

[1]

一种高K和金属栅极的制作方法 [P].

周军 .

中国专利 :CN102427030A ,2012-04-25

[2]

一种高K金属栅极结构的制作方法 [P].

鲍宇 ;

周军 ;

朱亚丹 .

中国专利 :CN104900505A ,2015-09-09

[3]

金属栅极制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681273A ,2014-03-26

[4]

一种高k/金属栅极结构及其制作方法 [P].

韩秋华 ;

林益世 .

中国专利 :CN104241343B ,2014-12-24

[5]

一种高K金属栅极结构及其制作方法 [P].

雷海波 ;

田明 ;

宋洋 ;

廖端泉 .

中国专利 :CN110504302A ,2019-11-26

[6]

一种High K栅极电介质/金属层叠栅极制作方法 [P].

何有丰 .

中国专利 :CN103165441A ,2013-06-19

[7]

一种金属栅极制作方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN107887335A ,2018-04-06

[8]

金属栅极的制作方法 [P].

王韶韦 ;

王俞仁 ;

林建良 ;

邓文仪 ;

吕佐文 ;

陈致中 ;

颜英伟 ;

林钰闵 ;

简金城 ;

陈哲明 ;

徐俊伟 ;

张家隆 ;

吴宜静 ;

詹书俨 .

中国专利 :CN102842491A ,2012-12-26

[9]

一种高k金属栅器件金属电阻结构及其制作方法 [P].

李凤莲 ;

倪景华 .

中国专利 :CN104112735B ,2014-10-22

[10]

一种金属栅极的制作方法 [P].

鲍宇 ;

蒋莉 .

中国专利 :CN102569049B ,2012-07-11

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