一种高K金属栅极结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910809005.1

申请日：

2019-08-29

公开(公告)号：

CN110504302A

公开(公告)日：

2019-11-26

发明(设计)人：

雷海波田明宋洋廖端泉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

IPC主分类号：

H01L29423

IPC分类号：

H01L2949 H01L218238

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

戴广志

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/423 申请日:20190829
2019-11-26	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高k/金属栅极结构及其制作方法 [P].

韩秋华 ;

林益世 .

中国专利 :CN104241343B ,2014-12-24

[2]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

郑存闵 ;

何念葶 ;

陈健豪 ;

张净云 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 ;

孙启原 ;

许启茂 .

中国专利 :CN104425575A ,2015-03-18

[3]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

杨建伦 ;

许启茂 ;

吴俊元 ;

郑子铭 ;

邹世芳 ;

林进富 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 .

中国专利 :CN102683397A ,2012-09-19

[4]

一种高K金属栅极结构的制作方法 [P].

鲍宇 ;

周军 ;

朱亚丹 .

中国专利 :CN104900505A ,2015-09-09

[5]

一种高K和金属栅极的制作方法 [P].

周军 .

中国专利 :CN102427032A ,2012-04-25

[6]

一种高K和金属栅极的制作方法 [P].

周军 .

中国专利 :CN102427030A ,2012-04-25

[7]

栅极结构及其制作方法 [P].

赵杰 .

中国专利 :CN104979177B ,2015-10-14

[8]

一种金属栅极制作方法 [P].

何佳伟 ;

戴秋贇 ;

俞新杰 .

中国专利 :CN119069343A ,2024-12-03

[9]

高k金属栅极结构及其制造方法 [P].

李凤莲 ;

倪景华 ;

韩秋华 .

中国专利 :CN103794481A ,2014-05-14

[10]

栅极堆叠结构及其制作方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN102386217B ,2012-03-21

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