一种高K金属栅极结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510367057.X

申请日：

2015-06-29

公开(公告)号：

CN104900505A

公开(公告)日：

2015-09-09

发明(设计)人：

鲍宇周军朱亚丹

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21336 H01L21265

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陈慧弘

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101628103069 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:201510367057X 申请日:20150629
2018-11-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/28 申请公布日:20150909
2015-09-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高K和金属栅极的制作方法 [P].

周军 .

中国专利 :CN102427032A ,2012-04-25

[2]

一种高K和金属栅极的制作方法 [P].

周军 .

中国专利 :CN102427030A ,2012-04-25

[3]

一种高k/金属栅极结构及其制作方法 [P].

韩秋华 ;

林益世 .

中国专利 :CN104241343B ,2014-12-24

[4]

一种高K金属栅极结构及其制作方法 [P].

雷海波 ;

田明 ;

宋洋 ;

廖端泉 .

中国专利 :CN110504302A ,2019-11-26

[5]

金属栅极结构的制作方法 [P].

林静龄 ;

黄志森 ;

邹世芳 ;

林建廷 ;

陈意维 ;

林世雄 ;

陈俊隆 ;

廖琨垣 ;

张峰溢 ;

周孝邦 ;

吕佳霖 .

中国专利 :CN105280486A ,2016-01-27

[6]

形成高K金属栅极器件的方法 [P].

谢欣云 .

中国专利 :CN103545209A ,2014-01-29

[7]

金属栅极结构与其制作方法 [P].

林世雄 ;

陈俊隆 ;

廖琨垣 ;

张峰溢 ;

童宇诚 .

中国专利 :CN105244370A ,2016-01-13

[8]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

郑存闵 ;

何念葶 ;

陈健豪 ;

张净云 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 ;

孙启原 ;

许启茂 .

中国专利 :CN104425575A ,2015-03-18

[9]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

杨建伦 ;

许启茂 ;

吴俊元 ;

郑子铭 ;

邹世芳 ;

林进富 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 .

中国专利 :CN102683397A ,2012-09-19

[10]

金属栅极的制作方法 [P].

王韶韦 ;

王俞仁 ;

林建良 ;

邓文仪 ;

吕佐文 ;

陈致中 ;

颜英伟 ;

林钰闵 ;

简金城 ;

陈哲明 ;

徐俊伟 ;

张家隆 ;

吴宜静 ;

詹书俨 .

中国专利 :CN102842491A ,2012-12-26

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