一种高k/金属栅极结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310231660.6

申请日：

2013-06-09

公开(公告)号：

CN104241343B

公开(公告)日：

2014-12-24

发明(设计)人：

韩秋华林益世

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L29423

IPC分类号：

H01L2128

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;高伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101595682850 IPC(主分类):H01L 29/423 专利申请号:2013102316606 申请日:20130609
2014-12-24	公开	公开
2017-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高K金属栅极结构及其制作方法 [P].

雷海波 ;

田明 ;

宋洋 ;

廖端泉 .

中国专利 :CN110504302A ,2019-11-26

[2]

高k金属栅极结构及其制造方法 [P].

李凤莲 ;

倪景华 ;

韩秋华 .

中国专利 :CN103794481A ,2014-05-14

[3]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

郑存闵 ;

何念葶 ;

陈健豪 ;

张净云 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 ;

孙启原 ;

许启茂 .

中国专利 :CN104425575A ,2015-03-18

[4]

一种高K金属栅极结构的制作方法 [P].

鲍宇 ;

周军 ;

朱亚丹 .

中国专利 :CN104900505A ,2015-09-09

[5]

金属栅极制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681273A ,2014-03-26

[6]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

杨建伦 ;

许启茂 ;

吴俊元 ;

郑子铭 ;

邹世芳 ;

林进富 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 .

中国专利 :CN102683397A ,2012-09-19

[7]

栅极堆叠结构及其制作方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN102386217B ,2012-03-21

[8]

一种金属栅极的制作方法 [P].

鲍宇 ;

蒋莉 .

中国专利 :CN102569049B ,2012-07-11

[9]

一种金属栅极的制作方法 [P].

鲍宇 ;

张彬 .

中国专利 :CN102543698B ,2012-07-04

[10]

一种高K和金属栅极的制作方法 [P].

周军 .

中国专利 :CN102427032A ,2012-04-25

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