晶片检查装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811608811.4
申请日
2014-10-28
公开(公告)号
CN110058138A
公开(公告)日
2019-07-26
发明(设计)人
萩原顺一 小松茂和 古屋邦浩 保坂忠良 村松直树
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
G01R3126
IPC分类号
G01R3128
代理机构
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人
龙淳;邸万杰
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
晶片检查装置和晶片检查方法 [P]. 
土居昭 ;
佐佐木实 ;
长谷川正树 ;
小川博纪 ;
尾方智彦 ;
冈田祐子 .
中国专利 :CN112119297A ,2020-12-22
[2]
晶片检查方法和晶片检查装置 [P]. 
伊藤优作 ;
矢野紘英 ;
谷口智之 .
中国专利 :CN105489523A ,2016-04-13
[3]
晶片检查方法和晶片检查装置 [P]. 
山田浩史 .
中国专利 :CN108140590B ,2018-06-08
[4]
晶片检查装置和晶片检查方法 [P]. 
山田浩史 .
中国专利 :CN108140591B ,2018-06-08
[5]
晶片检查装置和晶片检查方法 [P]. 
木村展之 .
中国专利 :CN113739716A ,2021-12-03
[6]
晶片检查装置 [P]. 
山田浩史 .
中国专利 :CN103308839A ,2013-09-18
[7]
晶片检查装置 [P]. 
越智达也 ;
小山恭史 ;
神田和胜 .
日本专利 :CN118369752A ,2024-07-19
[8]
晶片检查装置 [P]. 
吉田真司 ;
桥本浩二 ;
野村安国 .
中国专利 :CN112213328A ,2021-01-12
[9]
晶片检查装置 [P]. 
吉田真司 ;
桥本浩二 ;
野村安国 .
日本专利 :CN112213328B ,2025-10-17
[10]
晶片检查装置 [P]. 
陆继波 .
中国专利 :CN215449030U ,2022-01-07