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晶片检查装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010629779.9
申请日：
2020-07-03
公开(公告)号：
CN112213328A
公开(公告)日：
2021-01-12
发明(设计)人：
吉田真司
桥本浩二
野村安国
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G01N2195
IPC分类号：
G01N2188
G01N2101
G01N2184
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/95 申请日:20200703 |
| 2021-01-12 | 公开 | 公开 |