晶片检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010629779.9

申请日：

2020-07-03

公开(公告)号：

CN112213328B

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

吉田真司桥本浩二野村安国

申请人：

株式会社迪思科

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/88 G01N21/01 G01N21/84

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

乔婉;于靖帅

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权

共 50 条

[1]

晶片检查装置 [P].

吉田真司 ;

桥本浩二 ;

野村安国 .

中国专利 :CN112213328A ,2021-01-12

[2]

晶片检查装置和晶片检查方法 [P].

木村展之 .

中国专利 :CN113739716A ,2021-12-03

[3]

晶片检查装置和晶片检查方法 [P].

土居昭 ;

佐佐木实 ;

长谷川正树 ;

小川博纪 ;

尾方智彦 ;

冈田祐子 .

中国专利 :CN112119297A ,2020-12-22

[4]

晶片检查方法和晶片检查装置 [P].

伊藤优作 ;

矢野紘英 ;

谷口智之 .

中国专利 :CN105489523A ,2016-04-13

[5]

晶片检查方法和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN108140590B ,2018-06-08

[6]

晶片检查装置和晶片检查方法 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN108140591B ,2018-06-08

[7]

晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN103308839A ,2013-09-18

[8]

晶片检查装置 [P].

越智达也 ;

小山恭史 ;

神田和胜 .

日本专利 :CN118369752A ,2024-07-19

[9]

晶片检查装置 [P].

陆继波 .

中国专利 :CN215449030U ,2022-01-07

[10]

晶片检查装置 [P].

萩原顺一 ;

小松茂和 ;

古屋邦浩 ;

保坂忠良 ;

村松直树 .

中国专利 :CN110058138A ,2019-07-26

← 1 2 3 4 5 →