晶片检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280081104.2

申请日：

2022-10-31

公开(公告)号：

CN118369752A

公开(公告)日：

2024-07-19

发明(设计)人：

越智达也小山恭史神田和胜

申请人：

东丽工程株式会社塔斯米特株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G01N21/84 G01N21/956

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

黄志坚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-19	公开	公开
2024-08-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20221031

共 50 条

[1]

晶片检查装置和晶片检查方法 [P].

土居昭 ;

佐佐木实 ;

长谷川正树 ;

小川博纪 ;

尾方智彦 ;

冈田祐子 .

中国专利 :CN112119297A ,2020-12-22

[2]

晶片检查方法和晶片检查装置 [P].

伊藤优作 ;

矢野紘英 ;

谷口智之 .

中国专利 :CN105489523A ,2016-04-13

[3]

晶片检查方法和晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN108140590B ,2018-06-08

[4]

晶片检查装置和晶片检查方法 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN108140591B ,2018-06-08

[5]

晶片检查装置和晶片检查方法 [P].

木村展之 .

中国专利 :CN113739716A ,2021-12-03

[6]

晶片检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN103308839A ,2013-09-18

[7]

晶片检查装置 [P].

吉田真司 ;

桥本浩二 ;

野村安国 .

中国专利 :CN112213328A ,2021-01-12

[8]

晶片检查装置 [P].

吉田真司 ;

桥本浩二 ;

野村安国 .

日本专利 :CN112213328B ,2025-10-17

[9]

晶片检查装置 [P].

陆继波 .

中国专利 :CN215449030U ,2022-01-07

[10]

晶片检查装置 [P].

萩原顺一 ;

小松茂和 ;

古屋邦浩 ;

保坂忠良 ;

村松直树 .

中国专利 :CN110058138A ,2019-07-26

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