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用于真空溅镀的平面Sn靶材
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120551643.7
申请日：
2011-12-26
公开(公告)号：
CN202380073U
公开(公告)日：
2012-08-15
发明(设计)人：
朱振华
庄世雄
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞江工业园晨丰路南侧
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
C23C1408
代理机构：
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人：
董建林
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-11 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20111226 授权公告日:20120815 |
| 2021-08-24 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/34 变更事项:专利权人 变更前:昆山全亚冠环保科技有限公司 变更后:光洋新材料科技（昆山）有限公司 变更事项:地址 变更前:215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞江工业园晨丰路南侧 变更后:215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇晨丰东路135号 |
| 2012-08-15 | 授权 | 授权 |