化合物半导体装置及化合物半导体装置的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201210028773.1
申请日
2012-02-09
公开(公告)号
CN102637734A
公开(公告)日
2012-08-15
发明(设计)人
伊籐裕规 岩渕昭夫 施欣宏
申请人
申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区
IPC主分类号
H01L29778
IPC分类号
H01L21335
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
张劲松
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
化合物半导体装置、化合物半导体基板以及化合物半导体装置的制造方法 [P]. 
菱木繁臣 ;
川村启介 .
中国专利 :CN112997283A ,2021-06-18
[2]
化合物半导体装置 [P]. 
多木俊裕 ;
冈本直哉 .
中国专利 :CN102169894A ,2011-08-31
[3]
化合物半导体装置及其制造方法 [P]. 
美浓浦优一 ;
吉川俊英 .
中国专利 :CN102668092A ,2012-09-12
[4]
化合物半导体装置及其制造方法 [P]. 
金村雅仁 ;
吉川俊英 .
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[5]
化合物半导体装置以及制造该化合物半导体装置的方法 [P]. 
村田道昭 ;
宇佐美浩之 ;
太田恭久 ;
高桥均 .
中国专利 :CN102254936B ,2011-11-23
[6]
化合物半导体基板的制造方法以及化合物半导体基板 [P]. 
生川满久 ;
铃木悠宜 ;
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[7]
化合物半导体元件及化合物半导体装置 [P]. 
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杨伟善 ;
詹耀宁 ;
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李世昌 .
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[8]
化合物半导体及化合物半导体单晶的制造方法 [P]. 
野田朗 ;
川平启太 ;
平野立一 .
中国专利 :CN109963967A ,2019-07-02
[9]
化合物半导体装置及其制造方法 [P]. 
小谷淳二 .
中国专利 :CN103035699A ,2013-04-10
[10]
化合物半导体制造装置、化合物半导体制造方法以及化合物半导体制造用型架 [P]. 
樱井哲朗 .
中国专利 :CN102197460A ,2011-09-21