硅片新切割装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201120077549.2
申请日
2011-03-23
公开(公告)号
CN202021703U
公开(公告)日
2011-11-02
发明(设计)人
唐旭辉
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市吴江市盛泽镇西二环路1号
IPC主分类号
B28D504
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[41]
一种单晶硅片切割装置 [P]. 
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[42]
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[43]
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[44]
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[45]
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[46]
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[47]
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[48]
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[49]
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[50]
一种硅片切割设备 [P]. 
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