单晶硅锭及其制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN96102527.1
申请日
1996-02-26
公开(公告)号
CN1047413C
公开(公告)日
1996-11-27
发明(设计)人
松原顺一 三宅雄治 金刚寺博
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
C30B1520
IPC分类号
代理机构
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人
段承恩
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[41]
单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片 [P]. 
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[42]
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[49]
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[50]
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