一种Ga2O3薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010597141.1

申请日：

2020-06-28

公开(公告)号：

CN111710591A

公开(公告)日：

2020-09-25

发明(设计)人：

陈星刘可为申德振李炳辉张振中

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L31032 C23C1640

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-25	公开	公开
2021-09-03	授权	授权
2020-10-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20200628

共 50 条

[11]

一种单一取向锌镓氧薄膜及其制备方法 [P].

刘可为 ;

韩冬阳 ;

申德振 ;

陈星 ;

张振中 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN111081533A ,2020-04-28

[12]

一种Ga2O3紫外探测器及其制备方法 [P].

陈星 ;

刘可为 ;

申德振 ;

张振中 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN111584658B ,2020-08-25

[13]

一种高性能Ga2O3薄膜有源日盲紫外探测器及其制备方法 [P].

张洪良 ;

徐翔宇 ;

张佳业 ;

陈文山 .

中国专利 :CN115000228A ,2022-09-02

[14]

MgGa<sub>2</sub>O<sub>4</sub>紫外探测器及其制备方法 [P].

刘可为 ;

侯其超 ;

申德振 ;

陈星 ;

张振中 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN111816720B ,2024-04-19

[15]

一种钽掺杂Ga2O3薄膜的可控制备工艺方法 [P].

黄健 ;

邓洁 ;

黄浩斐 ;

王梦倩 ;

王世琳 ;

刘尊 ;

顾客云 ;

李洪伟 ;

丽娜.阿扎提 ;

张磊 ;

唐可 ;

王林军 .

中国专利 :CN115558890A ,2023-01-03

[16]

一种非晶Ga2O3日盲紫外探测器及其制备方法和应用 [P].

崔书娟 ;

梅增霞 ;

张永晖 ;

梁会力 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN108963027A ,2018-12-07

[17]

一种Ga2O3薄膜基日盲紫外探测器、制备方法及应用 [P].

郭道友 ;

王顺利 .

中国专利 :CN110854233A ,2020-02-28

[18]

一种稼酸镁薄膜的制备方法及稼酸镁薄膜 [P].

刘可为 ;

侯其超 ;

陈星 ;

申德振 ;

张振中 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN111020529A ,2020-04-17

[19]

一种ZnMgGaO四元合金薄膜的制备方法及ZnMgGaO四元合金薄膜 [P].

刘可为 ;

侯其超 ;

陈星 ;

申德振 ;

张振中 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN110970528A ,2020-04-07

[20]

一种Zn:Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器及其制备方法 [P].

郭道友 ;

秦新元 ;

王顺利 ;

时浩泽 ;

李培刚 ;

唐为华 ;

沈静琴 .

中国专利 :CN106409963B ,2017-02-15

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