具有场板结构的低栅电荷器件及其制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN202010350874.5
申请日
2020-04-28
公开(公告)号
CN111463263B
公开(公告)日
2020-07-28
发明(设计)人
吴健
申请人
申请人地址
201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区申江路5005弄3号9-12层、2号102单元
IPC主分类号
H01L2906
IPC分类号
H01L2940 H01L29423 H01L2949 H01L21336 H01L2978
代理机构
上海大视知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31314
代理人
蔡沅
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
具有阶梯分立屏蔽槽的低栅电荷器件及其制造方法 [P]. 
章文通 ;
朱旭晗 ;
祖健 ;
乔明 ;
李肇基 ;
张波 .
中国专利 :CN112382658B ,2021-02-19
[2]
具有栅场板结构的横向功率器件及其制备方法 [P]. 
于绍欣 ;
高沛雄 ;
赵晓龙 .
中国专利 :CN114429985A ,2022-05-03
[3]
具有低栅电荷特性的垂直沟道器件及制造方法 [P]. 
章文通 ;
何俊卿 ;
杨昆 ;
王睿 ;
乔明 ;
王卓 ;
张波 ;
李肇基 .
中国专利 :CN110676305A ,2020-01-10
[4]
具有栅漏复合阶梯场板结构的增强型HEMT射频器件及其制备方法 [P]. 
孙慧卿 ;
夏凡 ;
李渊 ;
夏晓宇 ;
谭秀洋 ;
张淼 ;
马建铖 ;
黄志辉 ;
王鹏霖 ;
丁霄 .
中国专利 :CN113178480A ,2021-07-27
[5]
具有屏蔽栅的沟槽栅器件的制造方法 [P]. 
杨毓龙 ;
陈正嵘 ;
沈浩峰 .
中国专利 :CN110034182A ,2019-07-19
[6]
低栅漏电容的沟槽MOS器件及其制造方法 [P]. 
刘伟 ;
王凡 .
中国专利 :CN102437191A ,2012-05-02
[7]
具有场板结构的HEMT器件及其制备方法 [P]. 
王黎明 ;
肖霞 ;
何雍春 .
中国专利 :CN113035943A ,2021-06-25
[8]
空气栅场板结构及其制备方法 [P]. 
吕奇峰 .
中国专利 :CN120282510A ,2025-07-08
[9]
具有背面场板结构的HEMT器件及其制备方法 [P]. 
董志华 ;
蔡勇 ;
于国浩 ;
张宝顺 .
中国专利 :CN103715257B ,2014-04-09
[10]
集成场板结构的平面栅型碳化硅MOSFET功率器件及其制造方法 [P]. 
张跃 ;
柏松 ;
宋晓峰 ;
李士颜 ;
黄润华 ;
杨勇 .
中国专利 :CN117747667A ,2024-03-22