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单晶硅的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610022802.1
申请日：
2016-01-14
公开(公告)号：
CN105780105A
公开(公告)日：
2016-07-20
发明(设计)人：
富田真一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C30B1520
IPC分类号：
C30B2906
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
李志强;杨思捷
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-07-20 | 公开 | 公开 |
| 2018-09-25 | 授权 | 授权 |
| 2016-08-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101674704882 IPC(主分类):C30B 15/20 专利申请号:2016100228021 申请日:20160114 |