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半导体器件及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110255756.7
申请日：
2011-08-31
公开(公告)号：
CN102969269A
公开(公告)日：
2013-03-13
发明(设计)人：
毛智彪
胡友存
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
H01L23522
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
陆花
法律状态：
发明专利申请公布后的驳回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-12-23 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101725490949 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102557567 申请公布日:20130313 |
| 2013-04-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101433993091 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102557567 申请日:20110831 |
| 2013-03-13 | 公开 | 公开 |