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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-12-23 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101725490949 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102557567 申请公布日:20130313 |
| 2013-04-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101433993091 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102557567 申请日:20110831 |
| 2013-03-13 | 公开 | 公开 |