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一种半导体测试设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010143089.2
申请日：
2020-03-04
公开(公告)号：
CN111308305A
公开(公告)日：
2020-06-19
发明(设计)人：
曹锐
邓标华
裴敬
杜建
申请人：
申请人地址：
430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号
IPC主分类号：
G01R3126
IPC分类号：
代理机构：
武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224
代理人：
李佑宏
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/26 申请日:20200304 |
| 2020-06-19 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-18 | 授权 | 授权 |