共 50 条
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
多晶硅薄膜及其形成方法
被引：0
申请号：
CN202210947274.6
申请日：
2022-08-09
公开(公告)号：
CN115012032A
公开(公告)日：
2022-09-06
发明(设计)人：
谢博文
施剑华
申请人：
申请人地址：
510000 广东省广州市黄埔区中新广州知识城凤凰五路28号
IPC主分类号：
C30B2814
IPC分类号：
C30B2906
H01L2102
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
钟晶
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-06 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 28/14 申请日:20220809 |