NMOS晶体管及形成方法、CMOS结构及形成方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210214305.3
申请日
2012-06-26
公开(公告)号
CN103515238A
公开(公告)日
2014-01-15
发明(设计)人
洪中山
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L21266 H01L2978 H01L2932 H01L27092 H01L218238
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
骆苏华
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[21]
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[23]
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