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一种电子浓度稳定的高质量氧化镓薄膜及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010613147.3
申请日：
2020-06-30
公开(公告)号：
CN111725072B
公开(公告)日：
2020-09-29
发明(设计)人：
董鑫
焦腾
张源涛
张宝林
李赜明
申请人：
申请人地址：
130012 吉林省长春市长春高新技术产业开发区前进大街2699号
IPC主分类号：
H01L21365
IPC分类号：
H01L2924
H01L2978
代理机构：
长春吉大专利代理有限责任公司 22201
代理人：
刘世纯;王恩远
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-29 | 公开 | 公开 |
| 2020-10-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/365 申请日:20200630 |
| 2022-12-30 | 授权 | 授权 |