共 50 条
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パターン寸法測定方法及びそれに用いる荷電粒子線顕微鏡[ja]
被引：0
申请号：
JP20110538320
申请日：
2010-09-30
公开(公告)号：
JPWO2011052339A1
公开(公告)日：
2013-03-21
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G01B15/00
IPC分类号：
G01B15/04
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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