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窒化ケイ素スパッタリングターゲット、窒化ケイ素スパッタリングターゲットの製造方法、および、窒化ケイ素膜[ja]
被引：0
申请号：
JP20210094076
申请日：
2021-06-04
公开(公告)号：
JP2022186052A
公开(公告)日：
2022-12-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C04B35/597
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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