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一种原子层沉积装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323364732.2
申请日：
2023-12-11
公开(公告)号：
CN222139260U
公开(公告)日：
2024-12-10
发明(设计)人：
张亦哲
明帅强
李明
王浙加
戴昕童
李国庆
闻梦瑶
车睿远
申请人：
嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心
申请人地址：
314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号（嘉兴科技城）
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/52
C23C16/44
代理机构：
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570
代理人：
马攀
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-10 | 授权 | 授权 |