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一种碳化硅CMP精抛抛光液及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510212312.7
申请日：
2025-02-25
公开(公告)号：
CN120173514B
公开(公告)日：
2025-09-12
发明(设计)人：
高尚
董志刚
宋鑫
邹逸然
康仁科
申请人：
大连理工大学
申请人地址：
116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
IPC主分类号：
C09G1/02
IPC分类号：
H01L21/306
代理机构：
大连东方专利代理有限责任公司 21212
代理人：
修睿
法律状态：
公开
国省代码：
河北省
石家庄市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-20 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-12 | 授权 | 授权 |
| 2025-07-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20250225 |