刻蚀机终点检测系统用光线采集机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422644876.1

申请日：

2024-10-31

公开(公告)号：

CN223513380U

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

唐建成

申请人：

无锡芯汉电子科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市滨湖区隐秀路811-808

IPC主分类号：

G02B7/00

IPC分类号：

H01L21/66 G01B11/22 G01B11/30

代理机构：

无锡知之火专利代理事务所(特殊普通合伙) 32318

代理人：

袁粉兰

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	授权	授权

共 50 条

[1]

刻蚀机终点检测系统用滤光片组件 [P].

唐建成 .

中国专利 :CN223205706U ,2025-08-08

[2]

刻蚀终点检测方法 [P].

罗永坚 ;

张颂周 ;

任昱 ;

朱骏 ;

吕煜坤 ;

张旭升 .

中国专利 :CN104392946A ,2015-03-04

[3]

刻蚀终点检测系统及方法 [P].

杨剑 ;

杨俊 ;

梁晓明 ;

冯锐 ;

朱普磊 .

中国专利 :CN118352215A ,2024-07-16

[4]

一种便于安装且检测范围广的刻蚀机刻蚀终点检测系统 [P].

李鑫 ;

陈荣华 .

中国专利 :CN215374016U ,2021-12-31

[5]

一种等离子体刻蚀终点检测系统及刻蚀终点检测方法 [P].

方铭国 .

中国专利 :CN121215542A ,2025-12-26

[6]

刻蚀机终点检测系统用自适应光纤传输器 [P].

唐建成 .

中国专利 :CN223426890U ,2025-10-10

[7]

一种刻蚀终点检测系统 [P].

睢智峰 .

中国专利 :CN105336638B ,2019-03-08

[8]

终点检测装置和终点检测系统 [P].

刘昕 ;

董伯辉 ;

孙启磊 ;

王玉 ;

王立 .

中国专利 :CN211238175U ,2020-08-11

[9]

一种等离子体刻蚀终点检测系统及刻蚀终点检测方法 [P].

牛夷 ;

姜晶 ;

陈浩林 ;

李璇 ;

李志强 ;

王超 .

中国专利 :CN117451636A ,2024-01-26

[10]

侧墙刻蚀终点检测优化方法 [P].

刘周 .

中国专利 :CN119089172A ,2024-12-06

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