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一种便于安装且检测范围广的刻蚀机刻蚀终点检测系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121645803.4
申请日：
2021-07-20
公开(公告)号：
CN215374016U
公开(公告)日：
2021-12-31
发明(设计)人：
李鑫
陈荣华
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
IPC主分类号：
G01D1100
IPC分类号：
G01D1130
代理机构：
北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638
代理人：
王新爱
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-31 | 授权 | 授权 |