射频MEMS技术及其应用

被引：3

作者：

张玮

崔鸿波

刘刚

机构：

[1] 南京电子技术研究所微电路技术应用研究部

[2] 南京电子技术研究所微电路技术应用研究部南京

[3] 南京

来源：

电子科学技术评论 | 2005年 / 03期

关键词：

射频RF; MEMS; T/R组件; 移相器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

本文从射频微波观点回顾了微电子机械系统(MEMS)技术进展,重点讨论在射频领域,特别是在雷达T/R组件上有望广泛应用的器件、组件以及系统。意在唤起重视MEMS技术在雷达上的推广应用,有益于雷达事业的蓬勃发展。

引用

页码：27 / 31

页数：5

共 11 条

[1] 基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关 [J].

郑惟彬 ;

黄庆安 ;

李拂晓 .

固体电子学研究与进展, 2003, (02) :248-248

[2] 射频微机械CPW开关的研究 [J].

张正元 ;

温志渝 ;

徐世六 ;

张正番 ;

黄尚廉 .

电子学报, 2003, (05) :671-673

[3] 射频微机械共面波导开关测试技术研究 [J].

张正元 ;

肖坤光 ;

徐世六 ;

张正璠 ;

欧益宏 ;

温志渝 .

微电子学, 2003, (01) :12-14+18

[4] 军用MEMS技术研究的最新进展 [J].

徐艳英 .

光机电信息, 2002, (09) :20-27

[5] MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用 [J].

卿健 ;

石艳玲 ;

赖宗声 ;

朱自强 .

微电子学, 2002, (04) :241-244

[6] 射频MEMS压控电容器 [J].

朱健 ;

林立强 ;

林金庭 .

固体电子学研究与进展, 2002, (02) :146-148

[7] RF MEMS技术 [J].

梁春广 .

微纳电子技术, 2002, (01) :6-8

[8] 硅基MEMS技术 [J].

郝一龙 ;

张立宪 ;

李婷 ;

张大成 .

机械强度, 2001, (04) :523-526

[9] MEMS射频与微波应用技术新进展 [J].

吴群 ;

傅佳辉 .

电子器件, 2001, (04) :318-325

[10] 微波电路的MEMS开关进展 [J].

郑惟彬 ;

黄庆安 ;

李拂晓 .

微波学报, 2001, (03) :87-93

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