激光直写技术的研究现状及其进展

被引：9

作者：

徐兵

魏国军

陈林森

机构：

[1] 苏州大学信息光学工程研究所

[2] 苏州大学信息光学工程研究所江苏苏州

[3] 江苏苏州

[4] 江苏苏州

来源：

光电子技术与信息 | 2004年 / 06期

关键词：

激光直写; 二元光学元件; 光刻; 空间光调制器; 光变图像;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向。

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共 9 条

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