一种原子层沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210477229.5

申请日：

2012-11-21

公开(公告)号：

CN103103497B

公开(公告)日：

2013-05-15

发明(设计)人：

董亚斌夏洋李超波张阳

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-15	公开	公开
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101472132265 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2012104772295 申请日:20121121
2016-02-03	授权	授权

共 50 条

[1]

原子层沉积设备 [P].

屈芙蓉 ;

刘传钦 ;

夏洋 ;

李超波 .

中国专利 :CN302072349S ,2012-09-12

[2]

原子层沉积设备 [P].

曹建伟 ;

朱凌锋 ;

刘海博 ;

陈培杰 ;

罗丹 ;

张华敏 ;

胡汉彦 .

中国专利 :CN222008037U ,2024-11-15

[3]

一种原子层沉积设备 [P].

初春 ;

齐平 ;

高超 .

中国专利 :CN106544646B ,2017-03-29

[4]

一种原子层沉积装置及原子层沉积设备 [P].

李哲峰 ;

乌磊 .

中国专利 :CN212335291U ,2021-01-12

[5]

原子层沉积膜制备方法及原子层沉积设备 [P].

陈蓉 ;

叶容利 ;

曹坤 ;

单斌 ;

王威振 .

中国专利 :CN119121187A ,2024-12-13

[6]

原子层沉积方法和原子层沉积设备 [P].

古尔特基·S·桑赫 ;

特鲁格·特里·多恩 .

中国专利 :CN100346448C ,2005-10-26

[7]

一种原子层沉积设备和原子层沉积监测系统 [P].

林俊成 ;

黄致开 .

中国专利 :CN212770950U ,2021-03-23

[8]

原子层沉积设备 [P].

王祥慧 .

中国专利 :CN105463407A ,2016-04-06

[9]

原子层沉积设备 [P].

曹建伟 ;

朱凌锋 ;

陈培杰 ;

胡汉彦 ;

张华敏 ;

刘海博 ;

罗丹 .

中国专利 :CN221608192U ,2024-08-27

[10]

原子层沉积设备 [P].

周友华 ;

庄国胜 .

中国专利 :CN106978599A ,2017-07-25

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