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等离子体灰化方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200480029808.7
申请日：
2004-08-11
公开(公告)号：
CN1868043A
公开(公告)日：
2006-11-22
发明(设计)人：
C·华德费得
O·伊斯寇希亚
韩清源
T·布克雷
P·沙克席威尔
申请人：
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
H01L21311
IPC分类号：
H01L21306
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
范赤;刘玥
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-04-22 | 授权 | 授权 |
| 2014-11-26 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101707500793 IPC(主分类):H01L 21/311 专利号:ZL2004800298087 变更事项:专利权人 变更前权利人:艾克塞利斯技术公司 变更后权利人:朗姆研究公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国马萨诸塞州 变更后权利人:美国加利福尼亚州 登记生效日:20141028 |
| 2022-07-19 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/311 申请日:20040811 授权公告日:20090422 终止日期:20210811 |
| 2006-11-22 | 公开 | 公开 |
| 2007-01-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |