エッチング残留物の少ない金属酸化物のエッチング方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20200531606

申请日：

2018-12-13

公开(公告)号：

JP7366019B2

公开(公告)日：

2023-10-20

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申请人：

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IPC主分类号：

H01L21/302

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法律状态信息

共 50 条

[31]

無水エッチングの方法[ja] [P].

日本专利 :JP2020522131A ,2020-07-27

[32]

エッチング剤、エッチング方法およびエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015002272A1 ,2017-02-23

[33]

ラジカル構成要素の酸化物エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP2015531547A ,2015-11-02

[34]

亜鉛とスズを含む酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015104962A1 ,2017-03-23

[35]

亜鉛とスズを含む酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6384490B2 ,2018-09-05

[36]

エッチング液組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009066750A1 ,2011-04-07

[37]

エッチング剤組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2023542687A ,2023-10-11

[38]

湿式エッチング湿式エッチング組成物及び方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022552196A ,2022-12-15

[39]

金属酸化物のエッチングおよびチャンバ構成要素の保護[ja] [P].

AKHIL N SINGHAL ;

DUSTIN ZACHARY AUSTIN ;

ALON GANANY ;

DANIEL BOATRIGHT .

日本专利 :JP2023018112A ,2023-02-07

[40]

金属酸化物のエッチングおよびチャンバ構成要素の保護[ja] [P].

日本专利 :JP2022501824A ,2022-01-06

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