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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-05-13 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101609548809 IPC(主分类):H01L 27/105 专利号:ZL2009101279139 申请日:20090325 授权公告日:20110525 终止日期:20140325 |
| 2011-05-25 | 授权 | 授权 |
| 2009-09-30 | 公开 | 公开 |
| 2009-11-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |