共 50 条
[41]
[42]
[43]
[44]
[45]
[46]
[47]
[48]
[49]
[50]
銅合金スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160567959
申请日：
2016-05-16
公开(公告)号：
JPWO2016186070A1
公开(公告)日：
2018-03-08
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C22C9/01
C22C9/05
C22F1/08
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |